این دستگاه مدل DST3 شرکت پوشش های نانو ساختار ساخت کشور ایران می باشد.
دستگاه لایه نشانی ترکیبی اسپاترینگ و تبخیر حرارتی یک سیستم لایه نشانی در خلا می باشد. این دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد برای انجام لایه نشانی به روش اسپاترینگ و یک سامانه تبخیر حرارتی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF وDC قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات (اکسیدی و غیر اکسیدی) نیمه هادی ها و سرامیک ها می باشد.
کاربردها: ساخت انواع سنسورهای لایه نازک و سلولهای خورشیدی- اماده سازی نمونه های میکروسکوپ الکترونی- ساخت ادوات اپتیکی و غیره.
کارشناس: سعید آباد
نوع خدمت رسانی: فعال
